一、ETR-ML 系列干式真空泵新品发布

随着高端制造、电子半导体及精密工艺对真空环境要求的不断提升，干式真空泵正逐步取代传统油润滑真空设备。

意塔尔真空基于多年真空系统研发经验，正式推出全新一代 ETR-ML 系列干式真空泵，包括 ETR-ML15、ETR-ML30、ETR-ML60 三个型号，为不同工况提供更稳定、更洁净的真空解决方案。

二、产品结构与工作原理

ETR-ML 系列采用多级高精度罗茨转子结构，各级转子在同步齿轮驱动下反向旋转，在泵腔内形成周期性变化的密闭容积，实现气体的连续吸入、逐级压缩与排出。

整个抽气过程无油参与、无油返污染，确保系统洁净，特别适合对真空纯度要求较高的工艺环境。

三、ETR-ML 系列核心优势

1. 全干式运行，真空更洁净

泵腔内无任何润滑油或工作液，避免油雾、油蒸汽污染，被抽气体更纯净。

2. 支持 7×24 小时连续运行

非接触式结构设计，磨损小、寿命长，适合长时间不间断生产工况。

3. 高效率、低能耗设计

优化的转子型线与流道结构，在保证抽速的同时有效降低能耗。

4. 稳定可靠，维护成本低

结构简单、运行平稳，维护周期长，整体使用成本更低。

5.系统兼容性强，可灵活集成

可与干式螺杆真空泵系统或旋片泵系统组合使用，

支持 PLC / DCS 系统通讯，可按需求定制整体真空解决方案。

四、主要型号与技术参数对比

 ETR-ML15 干式真空泵

• 抽气速率（50Hz）： 250 L/min（30 m³/h）

• 极限压力： ≤ 1 Pa

• 功率： 0.4 kW

• 尺寸： 390 × 210 × 250 mm

• 重量： 20 kg

 ETR-ML30 干式真空泵

• 抽气速率（50Hz）： 500 L/min（30 m³/h）

• 极限压力： ≤ 2 Pa

• 功率： 0.4 kW

• 尺寸： 410 × 210 × 250 mm

• 重量： 26 kg

适用于实验室、小型工艺设备及对空间要求较高的应用场景。

 ETR-ML60 干式真空泵

• 抽气速率（50Hz）： 1000 L/min（60 m³/h）

• 极限压力： ≤ 1 Pa

• 功率： 1.5 kW

• 尺寸： 528 × 318 × 275 mm

• 重量： 57 kg

适用于连续生产线、中型真空系统及对抽速和稳定性要求较高的工业应用

五、典型应用行业

ETR-ML 系列干式真空泵广泛应用于：

 电子与半导体制造

医药与生物工程

 化工与新材料

 新能源与真空镀膜

精密实验与自动化设备

六、结语

ETR-ML 系列干式真空泵是意塔尔在高洁净、高可靠真空领域的重要产品升级。

未来，意塔尔将持续围绕客户工况需求，提供更专业的真空设备与系统解决方案。

 欢迎访问官网了解更多产品信息