一、走进湾芯展，

了解半导体产业新趋势

从晶圆制造装备、半导体材料，到先进封装测试、IC设计及第三代半导体，半导体产业涉及多个关键环节。随着人工智能、电子信息等领域持续发展，半导体制造及相关设备的技术升级也受到越来越多关注。

展会现场，各类企业展台集中展示相关设备与技术成果，参观交流氛围浓厚。通过此次走访，我们进一步了解了半导体产业链的布局与发展方向，也看到了精密制造及配套设备在产业发展中的重要作用。

二、半导体制造，

为什么离不开真空技术？

在半导体制造及相关设备中，真空技术应用于多种工艺环节，例如真空镀膜、部分薄膜沉积工艺、真空干燥及相关工艺设备等。

不同工艺对真空度、抽速、气体成分和洁净程度有不同要求，因此需要根据实际工况选择合适的真空泵及配套系统。

尤其在部分需要持续抽气、较大抽气能力或无油运行的工业应用中，真空泵不仅要满足工艺需求，还需要综合考虑长期运行、设备维护及系统匹配等因素。

三、针对不同真空需求，如何选择合适的设备？

干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵在抽气过程中无需通过泵腔内的工作油实现压缩，可用于对无油运行有要求的部分工业工艺。

在半导体相关设备、真空镀膜、电子制造及其他工业真空应用中，可根据工艺条件评估其适用性。

选型时需要重点考虑目标真空度、抽速、气体成分、工作温度及实际运行条件。

多级罗茨真空泵

多级罗茨真空泵通过多级转子结构实现气体输送，可用于需要较大抽气能力的部分工业真空场景。

对于特定真空工艺和工业设备，可结合工作压力范围、抽速需求及系统配置，评估多级罗茨真空泵的适用性。

具体选型应以设备性能参数和实际工况为依据。

 螺杆罗茨真空系统

对于需要兼顾抽气能力与目标真空度的应用，可以根据工艺需求，将干式螺杆真空泵与罗茨真空泵组合成真空系统。

螺杆罗茨系统通过不同类型真空泵的配合工作，可用于部分工业真空工艺，例如真空干燥、真空镀膜配套及其他需要组合抽气的设备场景。

相较于单独选择某一台泵，系统方案更需要综合考虑工艺流程、目标压力、抽气负荷、管路设计及控制方式，合理匹配设备配置。

四、持续关注行业需求，提供真空设备选择

通过此次湾芯展走访，意塔尔真空进一步了解了半导体产业链的发展动态及相关设备的应用方向。

意塔尔真空科技（东莞）有限公司专注于真空泵及相关设备，可根据客户的应用场景和工况需求，提供干式螺杆真空泵、多级罗茨真空泵及螺杆罗茨真空系统等产品咨询与选型支持。

不同工艺对真空设备的要求各不相同。欢迎有相关需求的客户与我们交流具体应用条件，共同探讨合适的真空解决方案。