ETR-4500全磁浮分子泵
额定转速：24000rpm
抽速:4000L/S
极限压强：2.7X10-7Pa
规格参数
| 参数 | 单位 | ETR-4500 |
|---|---|---|
| 入口法兰 | / | VG300/ISO320B |
| 出口法兰 | / | KF40 |
| 冷却方式 | / | 水冷 |
| 极限压强 | Pa | 2.7X10-7 |
| 抽速 | L/S | 4000 |
| 额定转速 | rpm | 24000 |
| 启动时间 | / | 15分钟 |
| 安装角度 | / | 任意角度安装 |
| 振动 | um | 0.01um |
| 通讯方式 | / | EatherCAT/RS232/RS485/通用IO |
| 电压 | DC | 200V-240V |
| 最大功率 | W | 2000 |
| 质量 | kg | 92 |
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