400-8090-516

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ETR-1000全磁浮分子泵

额定转速:36000rpm

抽速: 1050L/S

极限压强:10-7Pa

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规格参数

参数单位ETR-1000
入口法兰/VG200/ICF253/ISO200B
出口法兰/KF40
冷却方式/水冷
极限压强Pa10-7
抽速L/S1050
额定转速rpm36000
启动时间/

7分钟

安装角度/任意角度安装
振动
um<0.01um
通讯方式/RS232/485/IO/EtherCAT
电压DC

200V-240V

最大功率W

1200

质量kg

28


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